超高真空抽油机

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-07-19 0:52:44 * 浏览: 0

超高真空装置工作在10 ^ -6Pamdash，10 ^ -8Pa超高真空压力范围内，不同之处在于要求真空室中的材料放气率低，漏气率小并且可以承受200℃—450℃高温烘烤。，对设备的要求是：①主泵的极限真空度应很高，至少为10 ^ -7Pamdash，10 ^ -8Pa或更高。 ②主泵在超高真空工作压力范围内有一定的抽速。 ③机组的主泵或主泵进风口以上部分可承受200℃冲击和450℃高温烘烤。 ④主泵的回流气体（包括工作流体蒸气和解吸气体）的分压应足够低。 ⑤对于对被抽气体具有较强选择性的主泵，应配备足够大的辅助泵。 ⑥在单元主泵进气口上方的管道，阀门和其他组件的材料选择和密封应特别小心。通常，使用排气量较低的不锈钢和金属环密封。