干式旋片真空泵的工作原理

干式旋转叶片真空泵是可变容量真空泵，其工作原理与含油旋转叶片真空泵基本相同。图3-81显示了干式旋转叶片真空泵的工作原理。干式旋转叶片泵的转子偏心地放置在泵壳中，并且上端靠近泵壳以在进气口和排气口之间形成密封。当电动机驱动转子旋转时，旋转叶片在离心力的作用下被压在泵腔的内壁上。在泵体内形成有多个空腔。入口侧的腔室容积随着转子的旋转而增加，从而产生真空并吸入空气，而排气口侧的腔室容积随着转子的旋转而减小，从而产生压力和排气。由于干式旋片泵在无油状态下工作，因此旋片材料必须具有自润滑功能。目前，碳材料在国内外普遍使用，同时由于无油，该泵采用多种旋转叶片结构来减少气体泄漏。